Информация об авторе
Snitovsky, Yury P.
Выпуск | Раздел | Название | Файл |
Том 17, № 4 (2021) | НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ТЕХНОЛОГИИ | Фазовый состав и концентрации иттрия в пленках при осаждении алюминия и алюминиевых сплавов из газовой фазы |
(Rus) |
Том 17, № 3 (2021) | НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ТЕХНОЛОГИИ | Особенности плазменной обработки поверхности кремния в газовой смеси BF3 + H2 и BF3 + H2 + CF4 |
(Rus) |