Информация об авторе
Soshina, Tatyana O.
Выпуск | Раздел | Название | Файл |
Том 19, № 1 (2023) | НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ТЕХНОЛОГИИ | Влияние технологических параметров процесса импульсного магнетронного распыления на структуру и фазовый состав покрытий на основе TiN |
(Rus) |