Термодинамическое исследование комплекса меди(I) как основа технологии химического газофазного осаждения

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Тек жазылушылар үшін

Аннотация

Получены новые данные о термическом поведении и процессах сублимации и плавления (гексафторацетилацетонато)(циклооктадиен-1,5)меди, [Cu(cod)(hfac)]. Конденсированная фаза исследована методами термического и дифференциального термического анализа и дифференциальной сканирующей калориметрии: определены температура, энтальпия и энтропия плавления комплекса. Эффузионным методом Кнудсена с масс-спектрометрической регистрацией состава газовой фазы получена температурная зависимость давления насыщенного пара [Cu(cod)(hfac)] в интервале температур 293–337 K, рассчитаны термодинамические характеристики процесса сублимации при средней температуре экспериментального интервала и 298.15 K: ΔсублH0m (Tср) = 94.8 ± 1.5 кДж моль-1, ΔсублS0m (Tср) = 200.9 ± 3.2 Дж моль-1 K-1; ΔсублH0m (298.15 K) = 95.8 ± 3.1 кДж моль-1, ΔсублS0m (298.15 K) = 203.5 ± 6.6 Дж моль-1 K-1. Полученные величины сопоставлены с данными по аналогичному соединению иридия(I), [Ir(cod)(hfac)]. Результаты формируют подходы для оценки термодинамических свойств комплексов состава [M(cod)(hfac)] с целью определения оптимальных условий осаждения металлсодержащих покрытий. Подходы необходимы, когда соединения такого типа (например, [Ag(cod)(hfac)]) являются сверхчувствительными к процессу нагревания и отсутствует возможность определения надежных термодинамических характеристик экспериментальным путем.

Авторлар туралы

К. Жерикова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: ksenia@niic.nsc.ru
Ресей, Новосибирск

С. Трубин

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ksenia@niic.nsc.ru
Ресей, Новосибирск

Д. Пищур

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ksenia@niic.nsc.ru
Ресей, Новосибирск

Н. Морозова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ksenia@niic.nsc.ru
Ресей, Новосибирск

Әдебиет тізімі

  1. Karakovskaya K.I., Dorovskikh S.I., Vikulova E.S. et al. // Coatings. 2021. V. 11. Nо 1. P. 78. doi: 10.3390/coatings11010078.
  2. Hnyk D., Bühl M., Brain P.T. et al. // J. Am. Chem. Soc. 2002. V. 124. Nо 27. P. 8078. doi: 10.1021/ja012505a.
  3. Baum Th.H., Larson C.E., Reynolds S.K. Ligand Stabilized +1 Metal Beta-diketonate Coordination Complexes and Their Use in Chemical Vapor Deposition of Metal Thin Films: Patent US-5096737-A. Publication Date: 1992-03-16. Assignee: International Business Machines Corp.
  4. Gao L., Härter P., Linsmeier Ch. et al. // Microelectron. Eng. 2005. V. 82. Nо 3–4. P. 296. doi: 10.1016/j.mee.2005.07.078.
  5. Xu C., Baum Th.H., Drive C., Rheingold A.L. // Chem. Mater. 1998. V. 10. Nо 9. P. 2329. doi: 10.1021/cm980346x
  6. Лозанов В.В., Ильин И.Ю., Морозова Н.Б. и др. // ЖНХ. 2020. Т. 65. № 11. С. 1570. (Lozanov V.V., Il’in I.Y., Morozova N.B. et al. // Russ. J. Inorg. Chem. 2020. V. 65. Nо 11. 1781). doi: 10.1134/S0036023620110108.
  7. Kuo Y.-L., Lee Ch., Chen G. et al. // Electrochem. Solid-State Lett. 2007. V. 10. Nо 5. P. D51. doi: 10.1149/1.2710956.
  8. Panin A.V., Shugurov A.R., Liskovskaya T.I. et al. // Proc. Electrochem. Soc. 2003. V. 2003-8. P. 1297
  9. Vikulova E.S., Karakovskaya K.I., Ilyin I.Y. et al. // Phys. Chem. Chem. Phys. 2021. V. 23. Nо 16. P. 9889. doi: 10.1039/D1CP00464F
  10. Vikulova E.S., Ilyin I.Y., Karakovskaya K.I. et al. // J. Coord. Chem. 2016. V. 69. Nо 15. P. 2281. doi: 10.1080/00958972.2016.1198955.
  11. Golrokhi Z., Chalker S., Sutcliffe Ch.J., Potter R.J. // Appl. Surf. Sci. 2016. V. 364. P. 789. doi: 10.1016/j.apsusc.2015.12.127.
  12. Chi K.M., Shin H.-K., Hampden-Smith M.J. et al. // Polyhedron. 1991. V. 10. Nо 19. P. 2293. doi: 10.1016/S0277-5387(00)86153-7.
  13. Fadeeva V.P., Tikhova V.D., Nikulicheva O.N. // J. Anal. Chem. 2008. V. 63. P. 1094. doi: 10.1134/S1061934808110142.
  14. Макаренко А.М., Куратьева Н.В., Пищур Д.П., Жерикова К.В. // ЖНХ. Т. 68. № 2. С. 221. (Makarenko A.M., Kuratieva N.V., Pischur D.P. et al. // Russ. J. Inorg. Chem. 2023. V. 68. Nо 2. P. 183. doi: 10.1134/S0036023622602215).
  15. Semyannikov P.P., Igumenov I.K., Trubin S.V. // Thermochim. Acta. 2005. V. 432. Nо 1. P. 91. doi: 10.1016/j.tca.2005.02.034.
  16. Гранкин В.М., Семянников П.П. // Приборы и техника эксперимента. 1991. № 4. С. 129.
  17. Сидоров А.Н., Коробов М.В., Журавлева Л.В. Масс-спектральные термодинамические исследования. М.: МГУ, 1985. 208 с.
  18. Kulikov D., Verevkin S.P., Heintz A. // J. Chem. Eng. Data. 2001. V. 46. Nо 6. P. 1593. doi: 10.1021/je010187p
  19. Kulikov D., Verevkin S.P., Heintz A. // Fluid Phase Equilib. 2001. V. 192. Nо 1–2. P. 187. doi: 10.1016/S0378-3812(01)00633-1
  20. Chickos J.S., Hosseini S., Hesse D.G., Liebman J.F. // Struct. Chem. 1993. V. 4. Nо 4. P. 271. doi: 10.1007/BF00673701.
  21. Acree W., Chickos J.S. // J. Phys. Chem. Ref. Data. 2016. V. 45. Nо 3. P. 033101. doi: 10.1063/1.4948363.
  22. Жерикова К.В., Макаренко А.М., Караковская К.И. и др. // ЖОХ. 2021. Т. 91. № 10. С. 1548. (Zherikova K.V., Makarenko A.M., Karakovskaya K.I. et al. // Russ. J. Gen. Chem. V. 91. Nо 10. P. 1990). doi: 10.1134/S1070363221100108.
  23. Zherikova K.V., Vikulova E.S., Makarenko A.M. et al. // Thermochim. Acta. 2020. V. 689. P. 178643. doi: 10.1016/j.tca.2020.178643
  24. Беспятов М.А., Черняйкин И.С., Кузин Т.М., Гельфонд Н.В. // Журн. физ. химии. 2022. T. 96. № 9. С. 1266. (Bespyatov M.A., Cherniaikin I.S., Kuzin T.M., Gel’fond N.V. // Russ. J. Phys. Chem. A. 2022. V. 96. Nо 9. P. 1865). doi: 10.1134/S0036024422090047.
  25. Verevkin S.P., Sazonova A.Y., Emel’yanenko V.N. et al. // J. Chem. Eng. Data 2015. V. 60. Nо 1. P. 89. doi: 10.1021/je500784s.

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML
Жүктеу

© Russian Academy of Sciences, 2024