Исследование функции распределения электронов по скоростям в слабоионизированной ВЧ-плазме

封面

如何引用文章

全文:

开放存取 开放存取
受限制的访问 ##reader.subscriptionAccessGranted##
受限制的访问 订阅存取

详细

Одной из наиболее важных характеристик низкотемпературной плазмы является функция распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) или же по скоростям. В работе рассмотрено влияние электромагнитного поля на значения функции распределения электронов по скоростям (ФРЭС) при давлении от 13.3 до 133 Па для напряженностей электрического поля от -3000 до 3000 В/м в высокочастотном разряде со степенью ионизации 10−4−10−6. Показано, что на низких частотах ВЧ-электромагнитного поля (0.44–1.76 МГц) и с уменьшением частоты соударений до 5 × 107 Гц, при увеличении напряженности по модулю до 3000 В/м отклонение ФРЭС от ФРЭС Максвелла составляет до 35%. Это оказывает существенное влияние на коэффициенты диффузии и подвижности, разница в которых может составлять до 25% в рассмотренном диапазоне параметров.

全文:

受限制的访问

作者简介

А. Шемахин

Казанский (Приволжский) федеральный университет

编辑信件的主要联系方式.
Email: shemakhin@gmail.com
俄罗斯联邦, 420111, Респ. Татарстан, Казань, ул. Кремлевская, 18

参考

  1. Bogaerts A. et al. // Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. 2002. V. 57. № 4. С. 609–658.
  2. Samukawa S. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2012. V. 45. №. 25. P. 253001.
  3. Chu P.K., Lu X.P. (ed.). Low temperature plasma technology: methods and applications. CRC press, 2013. 494 р.
  4. Adamovich I. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2017. V. 50. № 32. P. 323001.
  5. Adamovich I. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2022. V. 55. № 37. P. 373001.
  6. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Кашапов Н.Ф. Высокочастотная плазменно-струйная обработка материалов при пониженных давлениях. Теория и практика применения. Казань: Изд-во Казанского государственного университета, 2000.
  7. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Абуталипова Л.Н., Красина И.В. Высокочастотная плазменная обработка в динамическом вакууме капиллярно-пористых материалов: теория и практика применения. Казань: Изд-во Казан. ун-та, 2004.
  8. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Сагбиев И.Р. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления. Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2007.
  9. Абдуллин И.Ш. и др. // Химия высоких энергий. 2012. Т. 46. №. 4. С. 319–323.
  10. Гинзбург В. Л. Распространение электромагнитных волн в плазме. Москва: Наука, 1967.

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载
2. Fig. 1. Dependence of collision frequency [Hz] on pressure [Pa].

下载 (90KB)
索引源数据
3. Fig. 2. Electron velocity distribution function in relative units at vc = 108 Hz and f = 13.56 MHz.

下载 (276KB)
索引源数据
4. Fig. 3. Electron velocity distribution function in relative units at vc = 5 × 107 Hz and f = 1.76 MHz.

下载 (275KB)
索引源数据
5. Fig. 4. Electron velocity distribution function in relative units at vc = 109 Hz and f = 13.56 MHz.

下载 (253KB)
索引源数据

版权所有 © Russian Academy of Sciences, 2024