Отправить статью по E-mail 
Прямой одностадийный плазмохимический синтез наноструктурированных тонких пленок системы β-Ga2O3-GaN различного состава
- Авторы: Мочалов Л.А.1, Кудряшов М.А.1, Вшивцев М.А.1, Кудряшова Ю.П.1, Прохоров И.О.1, Князев А.В.1, Алмаев А.В.2, Яковлев Н.Н.2, Черников Е.В.2, Ерзакова Н.Н.2
-
Учреждения:
- Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
- ООО “Фокон”
- Выпуск: Том 58, № 3 (2024)
- Страницы: 209-215
- Раздел: ПЛАЗМОХИМИЯ
- URL: https://vestnikugrasu.org/0023-1193/article/view/661346
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0023119324030055
- EDN: https://elibrary.ru/UUOVPB
- ID: 661346
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Аннотация
Впервые наноструктурированные тонкие пленки системы β-Ga2O3−GaN были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) на подложках из с-сапфира. Металлический высокочистый галлий, а также высокочистые газообразные азот и кислород использовали в качестве источников макрокомпонентов. Низкотемпературная неравновесная плазма индуктивно-связанного ВЧ (40.68 МГц) разряда при пониженном давлении (0.01 Торр) являлась инициатором химических превращений между исходными веществами. В качестве плазмообразующего газа использовали смесь кислорода и азота. Плазмохимический процесс был изучен с помощью метода оптической эмиссионной спектроскопии (ОЭС). Полученные тонкие пленки системы β-Ga2O3−GaN с содержанием фазы GaN от 2 до 7% были охарактеризованы различными аналитическими методами.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
Л. А. Мочалов
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород
М. А. Кудряшов
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород
М. А. Вшивцев
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Автор, ответственный за переписку.
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород
Ю. П. Кудряшова
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород
И. О. Прохоров
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород
А. В. Князев
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Нижний Новгород
А. В. Алмаев
ООО “Фокон”
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Калуга
Н. Н. Яковлев
ООО “Фокон”
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Калуга
Е. В. Черников
ООО “Фокон”
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Калуга
Н. Н. Ерзакова
ООО “Фокон”
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, Калуга
Список литературы
- Afzal A. // J. Materiomics. 2019. V. 5. № 4. P. 542.
- Jang S., Jung S., Kim J. et al. // ECS J Solid State Sci Technol. 2018. V. 7. № 7. P. 3180.
- Hoefer U., Frank J., Fleischer M. // Sens. Actuators B Chem. 2001. V. 78. № 1. P. 6.
- Lampe U., M. Fleischer M., Meixner H. // Sens. Actuators B Chem. 1994. V. 17. P. 187.
- Fleischer M., Hanrieder W., Meixner H. // Thin Solid Films. 1990. V. 190. P. 93.
- Liu Y., Parisi J., Sun X., Lei Y. // J. Mater. Chem. A. 2014. V. 2 P.9919.
- Ghosh A., Zhang C., Shi S.Q., Zhang H. // Clean – Soil, Air, Water. 2019. V. 47. P. 1800491.
- Fleischer M., Giber J., Meixner H. // Appl. Phys. 1992. V. 54. P. 560.
- Bartic M. // Phys Status Solidi. 2016. V. 213. P. 457.
- Liu Z., Yamazaki T., Shen Y. et al. // Sens Actuators B Chem. 2008. V. 129. P. 666.
- Pandeeswari R., Jeyaprakash B.G. // Sens Actuators B Chem. 2014. V. 195. P. 206.
- Li Y., Trinchi A., Wlodarski W. et al. // Sens Actuators B Chem. 2003. V. 93. P. 431.
- Mochalov L., Logunov A., Kudryashov M. et al. // ECS J. Solid State Sci. Technol. 2021. V. 10. P. 073002.
- Mochalov L.A., Logunov A.A., Prokhorov I.O. // Journal of Physics: Conference Series. 2021. V. 1967. P. 012036.
- Zhang H., Deng J.X., Kong L. et al. // Micro & Nano Lett. 2019. V. 14. P. 62.
- Suzhen L., Linpeng D. Xiaofan M. J. // J. Alloys Compd. 2020. V. 812. P. 1520262.
- Liu L.L., Li M.K., Yu D.Q. // Appl. Phys. A. 2010. V. 98. P. 831.
- Sun R., Zhang H.-Y., Wang G.-G. et al. // Superlattices Microstruct. 2014. V. 65. P. 146.
- Zhang Y., Yan J., Li Q. et al. // Physica B. V. 406. P. 3079.
- Roehrens D. // J. Solid State Chem. 2010. V. 183. P. 532.
- Mochalov L.A., Logunov A.A., Kudryashov M.A. // Journal of Physics: Conference Series. 2021. V. 1967. P. 012037.
- Mochalov L., Logunov A., Gogova D. et al. // Opt Quantum Electron. 2020. V. 52. P. 510.
- Bagolini A., Gaiardo A., Crivellari M. et al. // Sens Actuator B Chem. 2019. V. 292. P. 225.
- Mochalov L., Logunov A., Vorotyntsev V. // Sep. Purif. Technol. 2021 V. 258. P. 118001.
- Mochalov L., Logunov A., Kitnis A. et al. // Sep. Purif. Technol. 2020. V. 238. P.116446.
- Logunov A., Mochalov L., Gogova D., Vorotyntsev V. // International Conference on Transparent Optical Networks. 2019. P. 8840331.
- Yanyan Z., Ray L. Frost. // J. Raman Spectrosc. 2008. V. 39. P. 1494.
Дополнительные файлы
